石墨坩埚的核心设计要点

石墨坩埚的中心规划要害

材料选择与复合结构

主体材料:以天然鳞片石墨为主,因其具有耐高温(可达3000℃以上)、导热性优异(热导率约100-150W/(m·K))、化学安稳性强(常温下不与大多数酸碱反响)等特性。

复合结构:针对特定场景(如熔炼生动金属),选用外层石墨+内层氮化硼(BN)的复合规划。BN耐超高温(熔点约3000℃)且化学慵懒极强,可防止金属与石墨反响,但本钱较高且脆性大,因而仅用于内层防护。

密封与压紧规划

密封部件:通过环状体(固定于内胆顶端)与密封板(固定于顶盖下外表)的贴合完毕密封,防止气体泄露或杂质进入。

压紧部件:在铁质坩埚侧壁顶端设备压紧设备,通过延伸螺杆、凹形座及压板联动,完毕顶盖的安稳压紧与快速拆开,一同防止压板阻挡顶盖运用。

热场均匀性规划

单环结构:坩埚边际设置单环,便于用坩埚钳夹持,保证搬运过程中安稳操作。

石墨套筒:在碳化硅晶体生长设备中,通过石墨套筒将坩埚差异为材料区与非材料区,套筒侧壁开设倾斜通孔(与轴线成30°-70°角),防止材料窜流,一同保证热场均匀性。

规范与形状优化

类型差异:

单孔坩埚:用于熔炼和加热,腔体呈碗状或杯状,壁厚需承受高温与压力。

双孔/多孔坩埚:双孔用于加热和结晶,多孔可根据需求定制,满意杂乱试验需求。

特别形状:如半月形流盘(双浇口规划)、长型(外口径与高度比0.6-0.7:1)、碗型(口径与高度比1:1)等,习气不同工艺流程。

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