21世纪最全面的石墨加热棒怎么连接方法已普及
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本实用新型属于高温烧结炉技术领域，具体涉及一种利用石墨加热棒加热的高温真空烧结炉。
上面提及的高温真空烧结炉是在“工欲其善必先利其器”的背景下诞生的，以属于类金刚石氮化物范畴的氮化铝(ALN)基片为例，由于其具有并非限于以下诸方面的长处:热导率高，约为20W/m.k，接近BeO和SiC，并且是A1203的五倍以上；热膨胀系数小，在4.5X106°C，与Si (3.5?4X10 6°C)以及GaAs (6X 10 6°C )相当；电性能特性优异，具体而言，介电常数、介质损耗、体电阻率和介电强度十分优异；机械性能理想，抗折强度高于A1203和BeO陶瓷；纯度高、光传播持性好和无毒；等等，因而受到人们的器重。但是，由于氮化铝的烧结温度较高，约在2000°C左右，因而不论是炉体结构还是加热装置以及与炉体相关的辅助设施均具有严苛的要求，也就是说常规的高温烧结炉无法胜任对氮化铝或类似材料的高温烧结。
