PECVD石墨舟：

　　1. PECVD石墨舟包括：①石墨舟片②石墨隔块③石墨棒④螺母⑤陶瓷圈/陶瓷棒⑥卡点;

　　2. 公司采用高纯石墨加工，杂质含量低、强度高;

　　3. 陶瓷件采用99.9纯度，防腐蚀性强、不易爆裂;

　　4. 采用精密加工设备，专业技术人员指导，保证隔块装配尺寸;

　　5. 能生产匹配CT、捷佳伟创、大族、赛瑞达、七星华创等厂家设备标准配舟，还可以按照客户的要求实现定制各种规格;